ZJSYS高真空三軸平台

專為超高真空環境設計的精密材料傳輸平台，為真空製程工作流程提供可靠、靈活的輸送解決方案。

公司簡介

成都金斯尼科技有限公司專門從事電機驅動、機械傳動裝置的研究、開發、製造和應用。 運動控制 我們為真空、低溫、高溫和輻射等極端環境提供產品和解決方案。憑藉多年的技術累積和行業經驗，我們已成為極端環境運動控制解決方案的領先供應商。

核心產品：ZJSYS高真空三軸平台

ZJSYS高真空三軸平台是專為在超高真空環境下進行精密材料轉移而設計的核心設備。其工作溫度範圍為-20°C至+200°C，工作真空度為10⁻⁶ ppm。^-5Pa 具有卓越的多功能性、穩定性和真空潔淨度。它為各種高節奏的真空製程工作流程提供了一個可靠且靈活的精密傳輸平台。

核心性能規格

• 工作溫度範圍：-20°C 至 +200°C
• 真空要求：10^-5帕超高真空
• 動態性能：高速、高精度三軸運動
• 結構材料：全304不銹鋼結構

應用適應性

ZJSYS高真空三軸平台採用全304不鏽鋼結構，設計緊湊而剛性極高，並具備高速、高精度的三軸運動能力，能夠滿足對潔淨度要求嚴格、功能多樣、空間有限、節奏快、可靠性要求極高的應用需求。它是各種真空腔內產品轉移、工位切換和精密對準的理想選擇。

結構特徵

• 全304不鏽鋼結構：耐腐蝕、易於清潔、真空相容性極佳。
• 結構緊湊且高度堅固的設計：空間利用率高，運動穩定性好。
• 高潔淨度保證：符合嚴格的無塵室要求。
• 模組化設計：可靈活適應各種應用需求。

應用領域

• 半導體製造：晶圓轉移、真空鍍膜、蝕刻製程的材料處理。
• 科學研究設備：同步輻射光源、電子顯微鏡、真空實驗裝置。
• 精密光學元件：光學鍍膜、鏡頭製造、精密光學加工。
• 航太：太空船零件測試、真空環境模擬、特殊材料加工。

為什麼選擇 ZJSYS 三軸平台？

• 卓越的多功能性：能夠適應多樣化、快節奏的真空製程工作流程的需求。
• 極致穩定性：在極端環境下維持長期穩定運作。
• 極佳的真空清潔度：符合最嚴格的清潔標準。
• 靈活的空間適應力：緊湊的設計使其適合有限的空間，同時保持了很高的剛性。

真空傳輸技術領域的一項創新性工作

ZJSYS高真空三軸平台不僅僅是一個物料傳送裝置，更是真空過程自動化的核心部件。它完美融合了高速、高精度、高潔淨度和極強的環境適應性，為現代高端製造和前沿科學研究提供了可靠的物料傳送保障。

“在極致真空環境下，以精準實現無限可能！”