真空內製程設備

真空加工設備用於在真空腔內進行各種類型的加工或製程處理。這包括抽真空、真空焊接、真空鍍膜（例如使用蒸發、磁控濺鍍、離子鍍膜和等離子化學沉積等設備）、真空塗膠和填充以及真空純化等。
真空加工設備需要配備能夠在高真空環境下長時間穩定可靠工作的馬達和機械傳動裝置，同時還需具備低釋氣性能，不會污染真空環境。